コーティングに関する
さまざまな知見を活かし開発した
高品質・高速成膜が可能な
DLCコーティング装置
コーティングに関するさまざまな知見を活かし開発した高品質・高速成膜が可能なDLCコーティング装置
SMVP-1020／SPS-2020
ＭＶＰ搭載ＤＬＣ
コーティング装置
・iPhoneのみ対応。
・AR機能を使用時は、周囲に十分注意いただくようにお願い致します。
マイクロ波を利用したコーティング技術であるＭＶＰ法を搭載。
高密度プラズマによるＤＬＣ膜の高速外面コーティングを実現し、細穴内面へのコーティングも可能に。
ＭＶＰ法（Microwave sheath-Voltage combination Plasma)による高密度プラズマにより、外面コーティングでは最大150μｍ/hr の超高速成膜を実現。標準的な アーク法やスパッタ法による従来機と比較して、成膜速度が30 倍から最大150 倍程度まで向上。
POINT
-
POINT 1
内面コーティングの成膜領域拡大
従来の技術では困難であった細穴内面のコーティングを実現し、
φ30mm×500Ｌ㎜ やφ3mm×100Ｌ㎜などの小径穴内部への成膜品質を確保する。
拡大 -
POINT 2
少量、多品種に対応
当社従来機より処理時間を大幅に短縮し、処理条件の切替えも容易なため、少量・多品種の処理に柔軟に対応。
また、コンパクトな設計で、２台設置し交互運転することで生産効率がさらに向上。
SPEC
ハイブリッドイオンプレーティング装置
高品質かつ高速なDLC成膜を実現するハイブリッドイオンプレーティング装置
真空中で、イオンビームにより成膜物質をたたき出すスパッタリング法と、プラズマ中に成膜物質を含むガスを注入して成膜するP-CVD法を融合したハイブリッド成膜技術により、多様な膜種が成膜可能であり、硬さや膜厚などの成膜品質も向上。
POINT
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POINT 1
高速DLC成膜が可能に
大電流のHCD式プラズマガンを２基搭載し、高密度なイオンビームを照射して、イオン化率を上昇させることで、DLC成膜速度を従来機対比で約１.５倍まで向上させ、生産効率を改善。
拡大 -
POINT 2
安定した成膜品質
当社独自のプラズマ制御技術と最適な機械構造により、装填される
ワーク間での膜厚などのバラつきを抑え、安定した成膜品質を確保する。
SPEC
